熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比。
熱式氣體質量流量計即Mass Flow Meter（縮寫為MFM)，它是氣體流量計量中新型儀表，區別于其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。
熱式氣體質量流量計是用于測量和控制氣體質量流量的新型儀表。可用于石油、化工、鋼鐵、冶金、電力、輕工、醫藥、環保等工業部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監測。
特點
可靠性高 重復性好 測量精度高 壓損小
無活動部件 量程比寬 響應速度快 無須溫壓補償
應用
·工業管道中氣體質量流量測量 ·煙囪排出的煙氣流速測量
·煅燒爐煙道氣流量測量 ·燃氣過程中空氣流量測量
·壓縮空氣流量測量 ·半道體芯片制造過程中氣體流量測量
·污水處理中氣體流量測量 ·加熱通風和空調系統中的氣體流量測量
·熔劑回收系統氣體流量測量 ·燃燒鍋爐中燃燒氣體流量測量
·天然氣、火炬氣、氫氣等氣體流量測量
·啤酒生產過程中二氧化碳氣體流量測量
·水泥、卷煙、玻璃廠生產過程中氣體質量流量測量
主要參數
精度： 1％±0.5％F.S
重復性： ±0.2％
量程：0.05~90m/s
適用流量范圍：0~5000Nm3/h(Φ250空氣)
適用壓力：<2Mpa <3Mpa
適用介質溫度范圍：-25~120℃，-25~200℃，-25-500℃
供電：24V DC或220V AC
輸出：4~20mA
通訊接口：232或485
現場顯示：LED或LCD
防護標準：IP65
防爆等級：ExdllCT4
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